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Halbleitertechnik · Opferschicht · Fotolithografie (Halbleitertechnik) · Elektronenstrahllithografie · Ionenstrahl · Fotolack · Proton · Helium · Graphit · Rasterelektronenmikroskop · Sputtern · Ionenimplantation · Dotierung
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Ionenstrahllithografie' [Autoren]
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