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Ion · Dotierung · Halbleitertechnik · Ionenimplanter · Hochvakuum · Ionenquelle · Elektronenvolt · Atomgitter · Rapid Thermal Annealing · Lindhard · Scharff · Schiott · LSS-Theorie · Silicium · Germanium
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Ionenimplantation' [Autoren]
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