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Mikrotechnik · Halbleitertechnik · Strukturierung · Elektronenstrahl · Fotolithografie (Halbleitertechnik) · Fotolack · Ionenstrahllithografie · Fotomaske · Wafer · Excimerlaser · Masse (Physik) · Atomkern · Vorwärtsstreuung · Rückstreuung · inelastische Streuung
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Elektronenstrahllithografie' [Autoren]
Lizenz: Creative Commons Attribution-ShareAlike

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