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Halbleitertechnologie · Trockenätzen · Nassätzen · Ätzen · Siliziumdioxid · Silizium · Wafer · Plasma (Physik) · Ion · Argon · polymer · reaktives Ionentiefenätzen · selektiv · isotrop · Fotolithografie (Halbleitertechnik)
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Plasma-unterstütztes Ätzen' [Autoren]
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