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RIE · anisotrop · Silicium · Robert Bosch GmbH · Surface Technology Systems · Alcatel · anisotrop · Fotolack · Schwefelhexafluorid · Argon · Substrat (Materialwissenschaft) · isotrop · Radikale (Chemie) · Sputtern · Octafluorcyclobutan
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Reaktives Ionentiefenätzen' [Autoren]
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