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Mikrosystemtechnik · Mikrosystemtechnologie
Oberbegriffe: Mikrostrukturtechnik · Mikrotechnik | Lehrfach · Studienfach · Studienrichtung
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Mikrotechnik · Mikrosystem (Technik) · Sensor · Aktor · Mikromechanik · Mikrofluidik · Mikrooptik · Mikroelektronik · Aufbau- und Verbindungstechnik · Halbleiter · Silizium · Gallium-Arsenid · Dünnschichttechnik · LIGA · Sol-Gel
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Mikrosystemtechnik' [Autoren]
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