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Mikrosystemtechnik · Meter · Sensoren · Relais · Schalter (Elektrotechnik) · Ventil · Pumpe · Druckkopf · Integrierter Schaltkreis · Galvanotechnik · Ätzverfahren · Laser · Fotolithografie (Halbleitertechnik) · Dünnschichttechnik · LIGA-Technik
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Mikromechanik' [Autoren]
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