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Epitaxie · metallorganische chemische Gasphasenabscheidung · halbleiter · Molekularstrahlepitaxie · Vakuum · hPa · Galliumnitrid · Halbleiter · Leuchtdiode · Trimethylgallium · Hydrid · Ammoniak · Phosphin · Arsin · Dampfdruck
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Metallorganische Gasphasenepitaxie' [Autoren]
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