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Beschichtung · chemische Gasphasenabscheidung · Festkörper · Dünne Schicht · Metallorganische Chemie · Präkursor · Konvektion · Diffusion · Adsorption · Physisorption · Chemisorption · Epitaxie · Desorption · Reaktionsprodukt · Siedetemperatur
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Metallorganische chemische Gasphasenabscheidung' [Autoren]
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