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Halbleitertechnik · Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistor · integrierter Schaltkreis · Technologieknoten · LOCOS-Prozess · thermische Oxidation von Silizium · Siliziumdioxid · Siliziumnitrid · Gitterkonstante · Ausdehnungskoeffizient · Spannung (Mechanik) · Adhäsion · chemische Gasphasenabscheidung · LPCVD · Fotolack
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Grabenisolation' [Autoren]
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