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Halbleitertechnik · Beschichtung · einkristall · Substrat (Materialwissenschaft) · Silizium · Wafer · dünne Schicht · amorph · Siliziumdioxid · integrierte Schaltung · chemische Reaktion · Sauerstoff · Celsius · Rapid Thermal Oxidation · Oxidation
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Thermische Oxidation von Silizium' [Autoren]
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