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Chemische Gasphasenabscheidung · Dünne Schichten · polykristall · amorph · einkristall · Epitaxie · elektrolumineszenz · TFEL · Alkyl · Hydrid · Molekularstrahlepitaxie · Metallorganische Gasphasenepitaxie · Mikroelektronik · Aspektverhältnis (Strukturierung) · Integrierter Schaltkreis
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Atomlagenabscheidung' [Autoren]
Lizenz: Creative Commons Attribution-ShareAlike

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