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Teilchen · Target (Physik) · Atom · Sputtern · Ionisation · Ion · Elektrisches Feld · Ionenstrahl · Teilchenbeschleuniger · Cäsium · Kondensation · Kathode · Chemische Verbindung · Chemisches Element · Ionisator
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Sputter-Ionenquelle' [Autoren]
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