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Chemische Gasphasenabscheidung · Plasma (Physik) · Substrat (Werkstoffwissenschaft) · Plasma (Physik) · Kohlenstoffnanoröhre · Dissoziation (Chemie) · Molekül · Elektron · Radikale (Chemie) · Ion · elektrisches Feld · amorphes Silicium · Siliciumnitrid · Siliciumdioxid · Kohlenstoffnanoröhre
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