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Epitaxie · Beschichtungsverfahren · Mikroelektronik · III-V-Verbindungshalbleiter · Hauptgruppe · Gruppe-15-Element · Galliumnitrid · Gruppe-13-Element · Leuchtdiode · Laser · Chlorwasserstoff · Gallium · Galliumchlorid · Ammoniak · Substrat (Materialwissenschaft)
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Hydridgasphasenepitaxie' [Autoren]
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