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Fotolithografie (Halbleitertechnik) · elektromagnetische Strahlung · Wellenlänge · Nanometer · Elektronenvolt · extrem ultraviolette Strahlung · Mooresches Gesetz · Halbleiter · integrierter Schaltkreis · 45-nm-Technologie · Debris · Plasma (Physik) · Xenon · Zinn · Wolter-Teleskop
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'EUV-Lithografie' [Autoren]
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