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Dünnschichttechnik · Dünnschichttechnologie
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Dünne Schichten · dünne Schichten · metall · Dielektrikum · Halbleiter · Substrat (Materialwissenschaft) · Physikalische Gasphasenabscheidung · thermisches Verdampfen · Sputtern · Chemische Gasphasenabscheidung · Tempern · Rekristallisation · Dotierung · chemisch-mechanisches Polieren · Halbleiterelektronik
Quelle: Wikipedia-Seite zu 'Dünnschichttechnologie' [Autoren]
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